本方案涵蓋控制系統、清潔系統、動力系統和監測系統等單元，利用動力系統單元將所需清潔物質通過清潔系統單元進行循環清潔處理，利用監控系統和控制系統，進行相關的調整并循環自凈，***終達到相關標準要求。

本系統采用英國普洛帝“光阻測量顆粒”和“精密微納米顆粒管控”兩項技術，可根據用戶的要求，內置用戶所需多種管控工藝，實現多粒徑大小及數量的管控和檢測。

經典第八代***新應用軟件系統平臺，集結初濾、精濾、終濾、清洗、檢測、報警、校準和標定各模塊可實現方便的全自動化設定和操作，內置判定標準、檢測曲線、模塊調試和聲光報警等。

與業內***的智能系統公司合作，選擇其優秀的智能監控軍工級技術型工控機，系統穩定，性能穩卓越。

具有標準串行RS232口或RS485口、LAN口、USB口等，可外接普洛帝智能工廠等自動化管理系統。

可按英標、美標、日標、中標等標準進行標定、校準。

提供校準物質（GBW），協助客戶每年一次的校準計量工作。

提供行業獨有的“OIL17服務星” 簽約式服務，365天無憂使用。

執行標準：

GB/T 11446.1-2013 電子級水

GBT 11446.3-2013 電子級水測試方法通則

GB/T 11446.9 電子級水中微粒的儀器測試方法

SJ/T 11638-2016 電子化學品中顆粒的測試方法

GBT 29024.2-2016 粒度分析 單顆粒的光學測量方法 第2部分：液體顆粒計數器光散射法

ISO 21501-2-2007 Determination of particle size distribution - Single particle light interaction methods - Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter

ISO 14644-9-2012 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

ISO 14644-10-2014 Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10. Classification of surface cleanliness by chemical concentration

JIS K0554-1995  高純度水中微粒子濃度的檢測方法

JIS B9925-2010 光散亂式液中粒子計數器－校正方法及び検証方法

技術參數：

訂制要求：各類液體檢測要求；

傳 感 器：第八代雙激光窄光檢測器（精確、穩定、迅速）；

測試軟件：CCACS2.0分析測試軟件集成版；

控制方式：集成式工控機控制或工業PC 控制；

檢測方式：中國國標、電子行業標準、半導體行業標準、日本標準、美國標準、ISO標準；

測試標定：CN-PSL乳膠球計量、CN-ISO標定計量、CN-NIST標定計量；

操作方式：彩色液晶觸摸屏或鍵盤鼠標操作； 

管控精度：0.05、0.1、0.2、0.3、0.5、0.7、.08、1μm，2μm，3μm，5μm，10μm；

管控檢測：0.05~10μm（根據要求和傳感器）；

管控通道：1000 個，可任意4、6、8、16、32、64、128個尺寸范圍顆粒計數值；

管控流速：5mL/min～1500mL/min；

流速精度：<±1%；

管控體積：100mL~100L；

測試粘度：離線0~99厘斯；加壓可達500厘斯；

流體溫度：0℃～80℃；

環境溫度：-15℃～50℃；

接口方式：RS232或R485轉USB或USB接口 ；可定制尺寸；

模擬輸出：4mA～20mA；串口協議；MODBUS協議；     

報告方法：顆粒數/ml及等級；

輸入電壓：100V～265V,50Hz～60Hz；

售后服務：普洛帝中國服務中心/軍計測。

鑒定機構：西安中特計量檢測研究院