◆ 外形尺寸(處理單元)

 2100(W)×1200(D)×2050(H)mm

◆ 倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(不銹鋼，約1200升，錐形)

1000(W)×1200(H)mm

 ◆ 處理材料

 單批次重量：100KG

  ◆ 等離子發(fā)生器(美國(guó)MKS)

 頻率13.56MHZ,功率0-1250W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作

 ◆ 控制系統(tǒng)

 觸摸電腦+PLC全自動(dòng)控制,采用歐姆龍、西門子等世界***品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式

 ◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動(dòng)控制)

 英國(guó)愛(ài)德華(Edwards)爪式干泵 GV160 (40L/S)

英國(guó)愛(ài)德華羅茨泵  EH1000(280L/S)        

 臺(tái)灣氣動(dòng)真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管、德國(guó)英福康高精度真空計(jì)、傳感器

◆ 充氣系統(tǒng)

美國(guó)MKS高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(兩路氣體配制)、針閥

美國(guó)世偉洛克氣體管路及接口組件，德國(guó)雙級(jí)減壓閥

日本SMC及CKD高真空氣閥組件