近年來,在全球刮起了一股石墨烯旋風,越來越多的企業和科研單位開始致力于石墨烯材料的制備和測試,檢測石墨烯的形貌結構顯得尤為重要我們發現,三維共聚焦顯微鏡既用來觀察樣品表面亞μm程度的三維形態和形貌,又可以測量多種微小的尺寸,諸如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等等。而且測試方便快捷,不損壞樣品,實際利用中比掃描電鏡、原子力顯微鏡更加適用。***泰州石墨烯研究檢測火炬平臺的多名專家指出,三維共聚焦顯微鏡可以輕松檢測通過PMMA轉移的石墨烯(檢測PMMA殘留)、通過PET轉移的石墨烯、銅基石墨烯的三維形貌等等,在石墨烯領域內已經開始了廣泛有效的應用。
巨納集團的三維共聚焦顯微鏡(NanoFocus μsurf)機臺功能齊全,結構緊湊,性價比高,并擁有超高光學分辨率和***全面廣泛的三維表面形貌分析能力,成為了國內眾多石墨烯用戶的***。該設備采用多孔共聚焦專利技術,結合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動,以類似斷層攝影方式,可在短時間(約幾秒)內精確量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式的無損表征,不會破壞樣品的表面,不需要在真空環境下測量及樣品前期制備,僅需5~10秒即可完成測量;也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本,其在嚴酷的工作環境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測量漸變較大的高度時,跟其他方法相比,可以更精確量測物體高度,建立3D立體影像,優勢相當明顯。